Sách - Cảm Biến Gia Tốc Áp Điện Trở Ba Trục: Từ Thiết Kế Mức Hệ Thống Đến Thực Thi

Giới thiệu Sách - Cảm Biến Gia Tốc Áp Điện Trở Ba Trục: Từ Thiết Kế Mức Hệ Thống Đến Thực Thi

Sách - Cảm Biến Gia Tốc Áp Điện Trở Ba Trục: Từ Thiết Kế Mức Hệ Thống Đến Thực Thi
Tác giả Viện Hàn Lâm Khoa Học Và Công Nghệ Việt Nam: Trần Đức Tân (Chủ biên), Nguyễn Tiến Anh
Nhà xuất bản NXB Khoa Học Tự Nhiên Và Công Nghệ
Đơn vị phát hành Nguyễn Thị Phương Dung
Ngày xuất bản 12-2020
Số trang 260
Kích thước 16 x 24 cm
Loại bìa Bìa cứng
Nội dung
Nội dung cuốn sách được chia thành 8 Chương. Trong đó, Chương 1 - Tóm lược những nghiên cứu trên thế giới về cảm biến gia tốc silic, cảm biến gia tốc đa trục và các vấn đề tối ưu hóa trong thiết kế cảm biến MEMS làm cơ sở cho ý tưởng thực hiện cuốn sách này; Chương 2 - Thảo luận về các nguyên lý cơ bản của cảm biến gia tốc vòng hở và hiệu ứng áp điện trở trong silic. Hiện tượng này sau đó được sử dụng để thiết kế cảm biến gia tốc ba trục. Nguyên tắc của phương pháp phần tử hữu hạn (FEM) và các tiêu chí thiết kế ban đầu. Sau đó, thiết kế được đưa vào phần mềm FEM như ANSYS để tối ưu (chẳng hạn như vị trí đặt các áp điện trở trong các nghiên cứu của chúng tôi). Phân tích cấu trúc, một bước rất quan trọng để đưa ra các phân bố ứng suất trên bề mặt thanh dầm được trình bày, Chương 3 mô tả chi tiết hơn về thiết kế trong đó kết hợp các trường Vật lý khác nhau như: áp điện trở, cơ, nhiệt được thiết lập để đánh giá các đặc tính của cảm biến; Chương 4 - Trình bày toàn bộ về quá trình chế tạo cảm biến gia tốc MEMS ba trục. Sau đó, các phép đo tĩnh và động đã được thực hiện trên các cảm biến này. Phương pháp phương sai Allan được kết hợp với phương pháp mật độ phổ công suất (PSD) để xác định các sai số của cảm biến và mạch điện tử; Chương 5 - Trình bày về vấn đề tối ưu hóa thiết kế cho cảm biến nhằm đạt được độ nhạy hoặc độ phân giải cao. Vấn đề đã được giải quyết dựa trên những yếu tố về nồng độ pha tạp của áp điện trở, nhiều và công suất tiêu thụ. Nội dung Chương 5 đồng thời cũng cung cấp cho độc giả phương pháp để có thể thiết kế được cảm biến gia tốc có độ nhạy hay độ phân giải đồng nhất trên cả ba trục nhằm đáp ứng được những ứng dụng chuyên dụng: Chương 6 - Đề cập tới một trong những ứng dụng thực tiễn của cảm biến gia tốc ba trục trong đo rung. Trong Chương 6, nhóm tác giả trình bày về một thiết bị hoàn thiện mà ở đó cảm biến gia tốc ba trục được sử dụng để đo lường các chuyển động của đối tượng cần giám sát (động cơ xe ô tô); Chương 7 - Đề cập tới một ứng dụng phức tạp hơn đó là định vị cho các phương tiện chuyển động trong đó cảm biến gia tốc đa trục là một thành phần quan trọng; Chương 8 - Cảm biến gia tốc ba trục tích hợp sẵn trong các điện thoại thông minh được sử dụng cùng phần mềm đi kèm nhằm hỗ trợ cho lái xe máy an toàn hơn.

Giá MATCH